薄膜介电测量系统(配置及原理)祥情

 时间:2026-02-18 04:08:51

1、  Partulab CPS系列低温真空探针台

  配置:

  CPS-7000 低温真空探针台  (二选一)

  --4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台

  --SRS CTC-100温控仪及传感器

  --液氮传输系统

  CPS-8000 低温真空探针台  (二选一)

  --4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台

  --SRS CTC-100温控仪及传感器

  PPS-90 真空辅助系统

  --包含分子泵机组、真空阀门、真空测量

  VSZ70KIT 可视化视觉系统

  --7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源

薄膜介电测量系统(配置及原理)祥情

2、  Wayne Kerr 6500系列阻抗分析仪(选件)

  配置:

  6500B 精密阻抗分析仪

  --6505测量频率 20Hz 至 5MHz(四选一)

  --6510测量频率 20Hz 至 10MHz(四选一)

  --6520测量频率 20Hz 至 20MHz(四选一)

  --6530测量频率 20Hz 至 30MHz(四选一)

  --测量参数Z, Ø, L, C, R, Q, D, Y, G, B, X 

  --精度0.05% 

  --可选±40V直流偏压

薄膜介电测量系统(配置及原理)祥情

3、  Partulab DielectricMeaskit 测量套件

  配置:

  FT-BNC  同轴真空BNC Feedthrough

  --4个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护电缆

  CSH-DE  介电同轴样品固定座

  --模仿BNC的结构,样品表面电绝缘,屏蔽良好

  DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具

  --阻抗50欧姆的碳化钨针,SMA接头,针尖半径25µm

  PA-DE 介电测量探针臂

  --介电用的测量探针臂,带热沉

  MEMS多功能材料电学测量分析软件

  --附带全套介电功能测量分析软件

薄膜介电测量系统(配置及原理)祥情

4、原理:样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键,系统配置3个低温传感器,一个在样品台上,一个在屏蔽罩上,一个在探针臂上,通过监测三个地方的温度,确保可以提供一个准确的控温环境。为了避免探针臂的温度传递到样品上,导致样品温度高于样品台温度,探针臂和探针必须做热沉处理。 

薄膜介电测量系统(配置及原理)祥情

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