1、佰力博薄膜介电测量系统技术规格
探针臂个数：4个或6个
AC阻抗测量：20Hz 至 30MHz
测量温度：-160℃~400℃
降温时间：~45min to 110K
测量精度：0.05%
真空度：~10-6 mbar
测量参数：C电容
最大样品尺寸：≤51mm
C-V测量的电压：内置±40V DC偏置装置
碳化钨探针夹具阻抗：50Ω
XYZ位移平台行程：X轴51mm,精度20μm；Y轴25mm,精度10μm；Z轴25mm,精度10μm数据传输：4个USB接口
2、测量原理
测量时为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂必须做热沉处理。系统配置3个低温传感器，在样品台，屏蔽罩和探针臂上，通过监测三个地方的温度来确保有一个准确的控温环境。（注意：样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键。）
